激光平直度測量儀測試原理以及功能信息

更新時(shí)間：2025-07-21

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原理信息：PSD 基于非均勻半導(dǎo)體的橫向光電效應(yīng)工作，由形成在高電阻率半導(dǎo)體襯底表面的均勻電阻層和用于提取位置信號(hào)的電極組成，有源區(qū)的 p-n 結(jié)通過光電效應(yīng)產(chǎn)生光電流。通過計(jì)算光電流，可得出激光點(diǎn)的能量中心在感光面的位置信息，進(jìn)而獲取被測對(duì)象的直線度、平面度等數(shù)據(jù)。例如，測量直線度時(shí)，可實(shí)時(shí)測量各個(gè)測量位置的高低和左右位移量，而非角度值。

功能信息：

高精度幾何量測量：可高精度非接觸測量工件或?qū)к壍闹本€度和平面度，廣泛應(yīng)用于通用機(jī)床、半導(dǎo)體加工設(shè)備、新能源加工設(shè)備等工業(yè)領(lǐng)域，確保產(chǎn)品質(zhì)量。

一鍵調(diào)光：革新了傳統(tǒng)儀器繁瑣耗時(shí)的調(diào)光過程。用戶只需在測量起始點(diǎn)執(zhí)行一次清零操作，并在終點(diǎn)處簡單調(diào)整發(fā)射器至預(yù)定指示值，即可在不超過 2 分鐘內(nèi)完成調(diào)光，極大提高測量效率，降低操作難度，且測量導(dǎo)軌越長，效率提升效果越明顯。

多方向同時(shí)測量：可同時(shí)測量高低和左右兩個(gè)方向的直線度，還能實(shí)現(xiàn)不等間距測量，無需借助橋板，也可對(duì)斷續(xù)導(dǎo)軌的直線度進(jìn)行測量。

測量范圍廣且誤差小：直線度、平行度、平面度、垂直度測量范圍均為 ±5mm，直線度測量誤差為 ±（0.5% h+1μm），平行度和垂直度測量誤差為 ±（4+2/m+0.005h/m）μm/m，平面度測量誤差≤±（1+1.1m+0.005h）μm（其中 h 為儀器的最大顯示值，單位為 μm；m 為基準(zhǔn)面、基準(zhǔn)軸長度或平面內(nèi)最長測量線的長度，單位為 m）。

環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)：溫度、濕度、氣壓對(duì)設(shè)備影響很小，雖空氣擾動(dòng)有一定影響，但整體而言，能在多種工業(yè)環(huán)境中較為穩(wěn)定地工作。

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