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六維測量系統XD –6D激光干涉儀 5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角。一次安裝能測量6項精度指標包括線性定位誤差、XX及YY兩個方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動角